姓名
单位
职务
刘玉岭
电子信息工程学院
教授
檀柏梅
高宝红
助理研究员
王辰伟
出访地区:台湾
任务:2018海峡两岸先进基板研磨加工技术研讨会的主题为“化学机械平坦化/抛光(CMP)技术”,会议将围绕“化学机械平坦化/抛光(CMP)技术”等领域展开学术研讨。刘玉岭教授等4人将全程参加大会。共向本次会议提交科研论文4篇,全部被接收。其中刘玉岭教授论文“GLSI多层铜布线CMP缺陷控制理论研究”为大会特邀报告,并就报告内容同与会的专家学者进行学术讨论。
日程安排:2018年5月28日-6月1日,共计5天
往返航线:去程:天津-台湾,返程:台湾-天津
邀请单位情况介绍:台湾平坦化应用技术协会是半导体领域重要的科技学术组织, 化学机械平坦化技术,自1980年由IBM公司发展以来,现已成为跨入更小线宽制程的关键门槛之一。伴随而来製程消耗性材料的新市场需求也与日增加,如研磨浆料,研磨垫与钻石修整器等等。在美国,日本,韩国以及欧洲亦陆续有相关技术研讨会与学术机构长期投入研究,并且协助当地企业累积相当的技术经验与创意而发展出相关产品, 组织成立的目的是加强海峡两岸及全球平坦化领域技术、学术交流。
经费来源和预算:本次出访费用约2万元/人,共计8万元人民币。此次出访费用刘玉岭同志负责的巨人计划创新团队(项目号:180075)支付。
本次公示期为2018年4月8日至12日,如对公示内容有异议,请致电:60204041。
港澳台事务办公室
2018年4月8日